Tìm bộ phận chủ ngữ của câu: rồi lặng lẽ, từ từ, khó nhọc mà thanh thản, hệt như mảnh trăng nhỏ xanh non mọc trong đêm, cái đầu chú ve ló ra, chui dần khỏi xác bọ ve.