Về phương diện quy mô có thể xếp các hình thức tổ chức lãnh thổ công nghiệp theo thứ tự từ nhỏ đến lớn như sau:

- Điểm công nghiệp là hình thức tổ chức đơn giản nhất, trong đó có một hoặc hai xí nghiệp đơn lẻ, thường gắn với một điểm dân cư,phân bố gần vùng nguyên – nhiên liệu.

- Khu công nghiệp là khu vực đất đai có ranh giới rõ ràng (quy mô khoảng vài trăm ngàn ha), vị trí thuận lợi, có kết cấu hạ tầng tương đối tốt; gồm nhiều xí nghiệp công nghiệp có mối liên hệ với nhau, hỗ trợ nhau trong sản xuất.

- Trung tâm công nghiệp là hình thức tổ chức lãnh thổ công nghiệp ở trình độ cao, gắn với đô thị vừa và lớn, gồm nhiều khu công nghiệp, điểm công nghiệp và nhiều xí nghiệp công nghiệp có mối liên hệ chặt chẽ về sản xuất, kĩ thuật, công nghệ.

- Vùng công nghiệp là hình thức cao nhất, quy mô rộng lớn nhất của tổ chức lãnh thổ công nghiệp. Gồm nhiều điểm, khu công nghiệp, trung tâm công nghiệp có mối liên hệ sản xuất và nét tương đồng trong quá trình hình thành công nghiệp.

=> Như vậy, về phương diện quy mô có thể xếp các hình thức tổ chức lãnh thổ công nghiệp theo thứ tự từ nhỏ đến lớn như sau: Điểm công nghiệp, khu công nghiệp, trung tâm công nghiệp, vùng công nghiệp.